金融界2024年11月19日消息，国家知识产权局信㊣息显示，无锡联发易创科㊣技有限公司㊣取得一项名为“一种多方向晶圆搬送机构”的专利，授权公告✅号 CN 222015369 U，申请日期为 2023年㊣12月。
专㊣利摘要显示，本实✅用新型涉及晶圆制造设备技术领域，尤其是一种多方向晶圆搬送机构，包括纵向位移组件、横向驱动✅组件、转向组件、微调组件和夹持组件；所述横向驱动组件安装在纵向位移组件的输出端；转向组件包括旋转气缸；旋转气缸通过微调组件设于横向驱动组件的下侧以接受横向驱动组件的驱动；所述夹持组件设于㊣旋转气缸的输出端，通过本实用新型可以实现提高晶圆搬送的灵活性